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引言：超纯水——芯片造作的命脉
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极高的干净度：传感器资料必须为高档级不锈钢（如316L L-VMP），表表电解抛光（Ra≤0.4μm），且无死角，不析出离子，不吸附传染物。 ?
耐高温消毒：系统需定期进行高温纯蒸汽或热水杀菌（SIP），传感器须能耐受120℃以上高温。 ?
耐侵蚀：能耐受臭氧水等强氧化性杀菌环境的侵蚀。 ?
丈量不变：超纯水电阻率极高（18.2 MΩ·cm），介电常数不变，要求传感器拥有极高的信噪比和不变性。
1.
满足最高干净尺度：传感器接液部门可选取切合SEMI F72尺度的干净资料和处置工艺，确保不会成为传染源。 2.
美满的卫生型衔接：可提供Tri-Clamp、ISO、SMS等卫生型过程衔接，确保无死角。 3.
耐受SIP流程：选取高温兼容的电子元件和密封资料，不变接受杀菌温度。 4.
精准丈量：针对超纯水的个性进行优化设计，提供不变、沉复性高的液位信号。
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超纯水储罐：监控储罐液位，与造水设备（RO/EDI/抛光混床）联动，维持水平衡。 ?
洗濯机供水系统：为晶圆洗濯机前的供水罐提供液位节造信号。 ?
高纯化学药液罐：监测稀释后高纯化学品（如SC1， SC2）的液位。
